ドライ真空ポンプのよくあるご質問

スクロール機構は回転運動ではなく旋回運動のためトルク変動が小さく、圧縮工程に多くのポケットができるために漏れも少なく、高効率な機構になります。
また、スクロールポンプはドライルーツポンプのようにギヤやギヤ油も必要ありませんので、消費電力が少ないです。さらに、トルク変動の少ないスクロール機構は、IPMモーターなどの高効率モーターを使うことができるため、より効率の高い運転をすることが可能になっています。

対応できます。過去に対応させていただいた例としましては、よりリーク性能を高めた「リークタイト仕様」、マグネットカップリングを使い大気には動的シールのない「密閉仕様」、省エネ性能を高めた「高効率モーター＆インバーター仕様」、SF6などにも対応可能な「高密度ガス仕様」、各種ターボ分子ポンプとの組み合わせによる「高真空排気ユニット」などがございます。
当社お客様相談室にぜひ一度ご連絡ください。

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ISPシリーズ、DVSLシリーズは多重電圧モーターを使用しており、多くの電圧で使用可能です。
詳しくは製品仕様のページをご確認ください。
海外への販売に関しては、国によって法令やサービス体制などが異なりますので、当社お客様相談室までお問い合わせください。

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オイルフリースクロールポンプは内部に潤滑油や封水を使用していないため、それら潤滑油や封水等による逆拡散が無く、クリーンな真空と作業環境が得られます。
油回転ポンプ使用における潤滑油補給の手間やオイル代、交換時の産廃処理費用が不要です。
また、水封式ポンプと異なり、水の管理も不要でランニングコストが抑えられます。オイルフリースクロール真空ポンプは環境性、メンテナンス性、経済性に優れたポンプです。

真空ポンプ内部に凝縮した水分を排出するための機構です。
水分の吸引、あるいは湿度の高い気体を真空ポンプで排気すると、ポンプ内部で水分が凝縮します。凝縮した水分はポンプ内部に残留する場合があり、この残留水分が到達圧力不良や、故障の原因となる場合があります。
そこで内部に残留している水分を排出するための機能がエアフラッシュです。エアフラッシュ運転を行うことにより内部に残留している水分を排出するだけでなく到達圧力の回復に効果があります。
エアフラッシュを使用しても到達圧の変化が殆どない部分が従来のガスバラスト機構との違いです。

運転できます。
エアフラッシュを開放したまま連続運転をしても何ら問題はありません。
若干、排気音が高くなりますが気体が流れる際に発生する音によるものです。
当社では安心してご使用していただくためにポンプと装置の間に電磁弁（アイソレートバルブ）の設置をお奨めしております。
詳細は取扱説明書の「装置との接続」の項の配管例をご参照ください。

クリーンガス排気仕様です。人体に有害なガス、爆発、発火の危険性のあるガス、腐食性ガス、薬品、溶剤、液体、粉体等を真空ポンプに流さないでください。
特殊なガス等を排気したポンプの保守はお受けできませんのでご了承願います。

機種や使用状況等により整備基準時間は異なりますので、お買い求めになられた販売店様またはお客様相談室へお問い合わせください。

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使用していません。発売当初から当社のオイルフリースクロール真空ポンプにアスベストは一切使用していませんので、安心してお使いいただけます。