排気セット VTC-080-LV
特長
・クリーン排気
オイルフリースクロール真空ポンプとターボ分子ポンプとの組合せのため、完全なオイルフリー高真空排気システムです。
・コンパクト
非常にコンパクトで、設置面積が少ないため、現在ご使用中の装置に近接して設置可能です。
・操作性
スクロール真空ポンプとターボ分子ポンプを個別に運転する手動操作とボタン一つで同時にスタートさせる自動操作※があります。
用途に合わせ選択が可能です。
※自動操作を行う場合、チャンバと配管部品を含んだ容量に制限があります。
使用用途
加速器、X線分析装置、シンクロトロン放射光、電子顕微鏡、リークテスト
各種試験・分析装置、質量分析装置 、補助高真空排気装置、表面分析装置など
安全上のご注意
この真空ポンプは、クリーン排気仕様です。
人体に有害なガス、爆発、発火の危険性のあるガス、腐食性ガス、薬品、溶剤、粉体等は流さないでください。
特殊なガス等を排気したポンプに対しては当社で保守をお引き受けできませんので、ご了承願います。
周囲温度15℃～30℃の範囲で使用してください。
チャンバ、真空計、自動バルブなどは、ご希望にあわせて取り付けます。
仕様
| 形式 | 【ターボ分子ポンプユニット】ユニット 設計排気速度 50Hz [L/min] | 【ターボ分子ポンプユニット】ユニット 設計排気速度 60Hz [L/min] | 【ターボ分子ポンプユニット】ユニット 設計排気速度 50Hz [㎥/h] | 【ターボ分子ポンプユニット】ユニット 設計排気速度 60Hz [㎥/h] | 【ターボ分子ポンプユニット】ユニット 到達圧力 50Hz [Pa] | 【ターボ分子ポンプユニット】ユニット 到達圧力 60Hz [Pa] | 【ターボ分子ポンプユニット】ユニット リーク量 [Pa・㎥/s] | 【ターボ分子ポンプユニット】ユニット 吸込可能流体 | 【ターボ分子ポンプユニット】ユニット 吸気口径 | 【ターボ分子ポンプユニット】ユニット 排気口径 | 【ターボ分子ポンプユニット】ユニット 吸気口向き | 【ターボ分子ポンプユニット】ユニット 冷却方式 | 【ターボ分子ポンプユニット】ターボ分子ポンプ メーカー | 【ターボ分子ポンプユニット】ターボ分子ポンプ 形式 | 【ターボ分子ポンプユニット】ターボ分子ポンプ 排気速度 N2 [L/s] | 【ターボ分子ポンプユニット】ターボ分子ポンプ 排気速度 H2 [L/s] | 【ターボ分子ポンプユニット】ターボ分子ポンプ 排気速度 Ar [L/s] | 【ターボ分子ポンプユニット】ターボ分子ポンプ 排気速度 He [L/s] | 【ターボ分子ポンプユニット】ターボ分子ポンプ 内部表面処理 | 【ターボ分子ポンプユニット】粗びきポンプ メーカー | 【ターボ分子ポンプユニット】粗びきポンプ 形式 | 【ターボ分子ポンプユニット】粗びきポンプ 搭載台数 | 【ターボ分子ポンプユニット】粗びきポンプ 内部表面処理 | 【ターボ分子ポンプユニット】粗びきポンプ バックアップ材 | 【ターボ分子ポンプユニット】粗びきポンプ エアフラッシュ時 水蒸気消費量 [g/day] | 【ターボ分子ポンプユニット】粗びきポンプ エアフラッシュ量 [L/min] | 【ターボ分子ポンプユニット】粗びきポンプ 最大吸込圧力 | 【ターボ分子ポンプユニット】標準装備 | 【電動機】メインモーター 出力 [kW] | 【電動機】メインモーター 搭載台数 | 【電動機】メインモーター 効率クラス・構造種別・絶縁種別・極数・IPクラス・プロテクタ | 【電動機】ターボ分子ポンプモーター メーカー | 【電動機】ターボ分子ポンプモーター 効率クラス・構造種別・絶縁種別・極数・IPクラス・プロテクタ | 【電動機】始動方式 | 【電動機】サービスファクター | 【電動機】相 | 【電動機】100V 定格電流 50Hz [A] | 【電動機】100V 定格電流 60Hz [A] | 【電動機】100V 回転数 50Hz [min-1{rpm}] | 【電動機】100V 回転数 60Hz [min-1{rpm}] | 【電動機】115V 定格電流 50Hz [A] | 【電動機】115V 定格電流 60Hz [A] | 【電動機】115V 回転数 50Hz[min-1{rpm}] | 【電動機】115V 回転数 60Hz [min-1{rpm}] | 【電動機】200V 定格電流 50Hz [A] | 【電動機】200V 定格電流 60Hz [A] | 【電動機】200V 回転数 50Hz [min-1{rpm}] | 【電動機】200V 回転数 60Hz [min-1{rpm}] | 【電動機】208V 定格電流 50Hz [A] | 【電動機】208V 定格電流 60Hz [A] | 【電動機】208V 回転数 50Hz [min-1{rpm}] | 【電動機】208V 回転数 60Hz [min-1{rpm}] | 【電動機】220V 定格電流 50Hz [A] | 【電動機】220V 定格電流 60Hz [A] | 【電動機】220V 回転数 50Hz [min-1{rpm}] | 【電動機】220V 回転数 60Hz [min-1{rpm}] | 【電動機】230V 定格電流 50Hz [A] | 【電動機】230V 定格電流 60Hz [A] | 【電動機】230V 回転数 50Hz [min-1{rpm}] | 【電動機】230V 回転数 60Hz [min-1{rpm}] | 【電動機】380V 定格電流 50Hz [A] | 【電動機】380V 定格電流 60Hz [A] | 【電動機】380V 回転数 50Hz [min-1{rpm}] | 【電動機】380V 回転数 60Hz [min-1{rpm}] | 【電動機】400V 定格電流 50Hz [A] | 【電動機】400V 定格電流 60Hz [A] | 【電動機】400V 回転数 50Hz [min-1{rpm}] | 【電動機】400V 回転数 60Hz [min-1{rpm}] | 【電動機】415V 定格電流 50Hz [A] | 【電動機】415V 定格電流 60Hz [A] | 【電動機】415V 回転数 50Hz [min-1{rpm}] | 【電動機】415V 回転数 60Hz [min-1{rpm}] | 【電動機】460V 定格電流 50Hz [A] | 【電動機】460V 定格電流 60Hz [A] | 【電動機】460V 回転数 50Hz [min-1{rpm}] | 【電動機】460V 回転数 60Hz [min-1{rpm}] | 【その他】騒音値 50Hz [dB(A)] | 【その他】騒音値 60Hz [dB(A)] | 【その他】騒音値 エアフラッシュ運転時 [dB(A)] | 【その他】RoHS対応 | 【その他】時間計 | 【その他】エアーフラッシュ | 【その他】真空計測定子 | 【その他】真空圧力モニタ | 【その他】バルブ | 【その他】ベントバルブ | 【その他】スピードコントローラ | 【その他】水分離サイレンサ | 【その他】付属品 | 【その他】オプション | 【その他】使用周囲温度 [℃] | 【その他】外形寸法 全幅W[mm]×奥行L[mm]×全高H[mm] | 【その他】概略質量 [kg] |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| VTC-080-LV1 | -- | -- | -- | -- | 10-6台 | 10-6台 | -- | -- | -- | -- | -- | -- | ライボルト | SL-80 | -- | -- | -- | -- | -- | アネスト岩田 | ISP-250C-SV | 1 | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | 単相 | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | 無 | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | 15~40 | 350×490×840 | -- |
| VTC-080-LV2 | -- | -- | -- | -- | 10-6台 | 10-6台 | -- | -- | -- | -- | -- | -- | ライボルト | SL-80 | -- | -- | -- | -- | -- | アネスト岩田 | ISP-250C-SV | 1 | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | 単相 | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | 無 | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | 15~40 | 350×490×840 | -- |
注1 詳細な仕様は、各カタログ・取扱説明書を参照してください。
注2 アース付き電源プラグをお客様にてご用意ください。
注3 ターボ分子ポンプの起動・停止・エラー解除に使用します。
ただし、起動は真空計で設定した圧力SP1-L以下になることで自動的に行われます。
また、TMPスイッチをOFFにするか圧力がSP1-H以上になると自動的に停止します。
注4 大気ブレーキを利用してターボ分子ポンプの停止時間を短縮します。
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