ドライ真空ポンプ ISP-500C-T
特長
・高精度な真空環境を提供するリークタイト仕様
・大気圧から到達圧力まで、幅広い圧力領域に対応できます。
もちろんマルチボルテージなので世界中の電源でご使用できます。
・8000時間毎のメンテナンスはクリーニング・グリスアップのみ
(ご使用状況によって交換部品が必要になることもございます。)
・「実績」それがアネスト岩田の証明
加速器から汎用真空市場まで、ドライスクロール真空ポンプはさまざまな真空環境で活躍しています。
潤滑油の逆拡散がなく、クリーンな真空が得られます。
大気と真空の繰り返しにも強く、大気付近での連続運転も可能です。
・低振動・低騒音で高効率!それがスクロール
吸気・圧縮・排気の行程が連続でトルク変動が少ない機構だから低振動・低騒音です。
吸入室と排気室が隣接していない機構だから漏れが少なく高効率です。
・かんたんメンテナンス
冷却水・潤滑油を使用していないので、設置もメンテナンスも簡単です。
オイルフィルタ・潤滑油などの点検交換が不要です。
使用用途
スパッタリング装置、蒸着装置、イオンプレーティング装置、加速器
表面改質装置、電子ビーム加工 、真空溶解炉、真空熱処理炉、ガス循環・回収装置
理化学実験用、分析機器用、各種排気装置 、真空包装機、Heリークディテクタ 、真空吸着搬送など
仕様
注1 排気速度および到達圧力は、エアーフラッシュ運転時及び通常運転時ともほぼ同等です。
注2 電動機の許容電圧は士10%です。
注3 騒音値は無響音室にて到達圧力時に測定した値です。
注4 リーク量は、ポンプ停止時にエアーフラッシュを閉とした時の値です。
注5 水蒸気処理量は、エアーフラッシュ運転で25g/日以下(25℃、湿度60%RH)です。
エアーフラッシュ量は10L/minです。
注6 出荷時、通常運転・200V級結線仕様となっています。
注7 三相仕様には電動機保護機能がついておりません、安全のため必ず保護装置を付けてください。
注8 本製品は屋内仕様です。雨や蒸気など水分の当たらない場所に設置してください。
注9 本製品は、CSA規格未対応品です。
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