ドライ真空ポンプ ISP-500C
特長
・大気圧から到達圧力まで、幅広い圧力領域に対応できます。
もちろんマルチボルテージなので世界中の電源でご使用できます。
・「実績」それがアネスト岩田の証明
加速器から汎用真空市場まで、ドライスクロール真空ポンプはさまざまな真空環境で活躍しています。
潤滑油の逆拡散がなく、クリーンな真空が得られます。
大気と真空の繰り返しにも強く、大気付近での連続運転も可能です。
・低振動・低騒音で高効率！それがスクロール
吸気・圧縮・排気の行程が連続でトルク変動が少ない機構だから低振動・低騒音です。
吸入室と排気室が隣接していない機構だから漏れが少なく高効率です。
・かんたんメンテナンス
冷却水・潤滑油を使用していないので、設置もメンテナンスも簡単です。
オイルフィルタ・潤滑油などの点検交換が不要です。
使用用途
スパッタリング装置、蒸着装置、イオンプレーティング装置、加速器
表面改質装置、電子ビーム加工 、真空溶解炉、真空熱処理炉、ガス循環・回収装置
理化学実験用、分析機器用、各種排気装置 、真空包装機、Heリークディテクタ 、真空吸着搬送など
仕様
| 形式 | 設計排気速度 50Hz [L/min] | 設計排気速度 60Hz [L/min] | 到達圧力 50Hz [Pa] | 到達圧力 60Hz [Pa] | リーク量 [Pa・㎥/s] | エアフラッシュ時 水蒸気消費量 [g/day] | エアフラッシュ量 [L/min] | 吸気口径 | 排気口径 | 冷却方式 | 仕様書 | 【電動機】出力 50Hz[kW] | 【電動機】出力 60Hz[kW] | 【電動機】相 | 【電動機】100V 定格電流 50Hz [A] | 【電動機】100V 定格電流 60Hz [A] | 【電動機】200V 定格電流 50Hz [A] | 【電動機】200V 定格電流 60Hz [A] | 【電動機】220V 定格電流 50Hz [A]【電動機】220V 定格電流 60Hz [A]仕様書 | 【その他】使用周囲温度 [℃] | 【その他】概略質量 [kg] | 【その他】外形寸法 全幅W[mm]×奥行L[mm]×全高H[mm] | 【その他】RoHS対応 | 【その他】時間計 | 【その他】エアーフラッシュ | 【その他】真空計測定子 | 【その他】真空圧力モニタ | 【その他】バルブ | 【その他】ベントバルブ | 【その他】スピードコントローラ | 【その他】水分離サイレンサ |
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ISP-500C-SH EC
|
500 | 600 | ≦1 | ≦1 | ≦1.0×10‐5 | 25 | 10 | NW40 | NW25 | 空冷 | 0.6 | 0.6 | 単相 | 8.5 | 10 | 4.3 | 4.8 | -- | 5~40 | 44 | 328×444×370 | 有 | 有 | 有 | -- | -- | -- | -- | -- | -- | |
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ISP-500C-SVEC
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500 | 600 | ≦1 | ≦1 | ≦1.0×10‐5 | 25 | 10 | NW40 | NW25 | 空冷 | 0.6 | 0.6 | 単相 | 8.5 | 10 | 4.3 | 4.8 | -- | 5~40 | 44 | 290×444×396 | 有 | 有 | 有 | -- | -- | -- | -- | -- | -- | |
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ISP-500C-THEC
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500 | 600 | ≦1 | ≦1 | ≦1.0×10‐5 | 25 | 10 | NW40 | NW25 | 空冷 | 0.6 | 0.6 | 三相 | -- | -- | 2.7 | 2.8 | -- | 5~40 | 38 | 328×374×370 | 有 | 有 | 有 | -- | -- | -- | -- | -- | -- | |
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ISP-500C-TVEC
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500 | 600 | ≦1 | ≦1 | ≦1.0×10‐5 | 25 | 10 | NW40 | NW25 | 空冷 | 0.6 | 0.6 | 三相 | -- | -- | 2.7 | 2.8 | -- | 5~40 | 38 | 292×374×396 | 有 | 有 | 有 | -- | -- | -- | -- | -- | -- |
注1 排気速度及び到達圧力は、エアーフラッシュ運転時及び通常運転時ともほぼ同等です。
注2 電動機の許容電圧は土10％です。
注3 騒音値は、無響音室にて到達圧力時に測定した値です。
注4 リーク量は、ポンプ停止時にエアーフラッシュを閉とした時の値です。
注5 水蒸気処理量は、エアーフラッシュ運転で25g／日以下(25℃、湿度60%RH)です。
エアーフラッシュ量は10L/minです。
注6 出荷時、通常運転・200V級結線仕様となっています。
注7 三相仕様には電動機保護機能がついておりません。安全のため必ず保護装置を付けてください。
注8 本製品は屋内仕様です。雨や蒸気など水分の当たらない場所に設置してください。
注9 各仕様値は、当社規程の評価基準及び条件にて測定した値です。実際はご使用条件によって異なります。
注10 上記は、品質改善のため予告なく変更する場合があります。
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